中微半导体设备(上海)股份有限公司
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产品详情
Preforma Uniflex™ CW薄膜设备
Preforma Uniflex™ CW薄膜设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
中微公司
关注度:
42
样本:
暂无
型号:
Preforma Uniflex™ CW
产地:
上海
信息完整度:
典型用户:
暂无
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认证信息
 
名 称:中微半导体设备(上海)股份有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

作为中微公司自主研发的产出效率高且性能优秀的12英寸CVD金属钨设备,Preforma Uniflex™CW可灵活配置多达五个双反应台的反应腔,每个反应腔皆能同时加工两片晶圆,在保证较低的生产成本和化学品消耗的同时,实现较高的生产效率。Preforma Uniflex™CW配备了完全拥有自主知识产权的优化混气方案,自主设计优化的分气抽气系统和真空卡盘,具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性,对于弯曲度较大的晶圆,它也具备良好的工艺处理能力。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力,可以满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充应用需求。

产品特点

双反应台及多达五个反应腔的系统

独立小巧的反应空间

高效灵活的工艺调节窗口

自主知识产权的优化混气方案

自主设计的优化气体分配的抽气系统

自主设计的优化真空卡盘的加热台

竞争优势

高生产效率,低生产成本,低化学品消耗

优秀的薄膜均一性和填充能力

优秀的工艺适应性和兼容性

对弯曲度较大的晶圆也具有良好的工艺处理能力


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