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产品简介
中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反应腔，可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一设计可以实现优异的生产灵活性。PRISMO D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备。
PRISMO D-BLUE®
首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备
可独立控制的反应腔运行模式 自主的实时监控系统 精准的参数控制 全自动化处理 符合半导体标准的软件控制系统 竞争优势产品特点
优异的工艺重复性，简化工艺调整需求，提高产品良率 19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单位产能，降低了生产成本 集成顶盖升降机构，简化设备维护，提高设备利用率 符合SEMI S2安全标准，提升设备的安全性能
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