中微半导体设备(上海)股份有限公司
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产品详情
PRISMO A7® MOCVD设备
PRISMO A7® MOCVD设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
中微公司
关注度:
30
样本:
暂无
型号:
PRISMO A7® MOCVD设备
产地:
上海
信息完整度:
典型用户:
暂无
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认证信息
 
名 称:中微半导体设备(上海)股份有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔,可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。

产品特点

可独立控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处理

符合半导体标准的软件控制系统




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